万级净化车间是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好环境空间中生产、制造。
万级净化车间的要求:
1、尘粒至大允许数(每立方米)。
2、大或等于0.5微米的粒子数不得**过350000个,大或等于5微米的粒子数不得**过2000个。
3、微生物至大允许数。
4、浮游菌数不得**过100个每立方米。
5、沉隆菌数不得**过3个每培养皿。
6、压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特别要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20——22℃;夏季 24——26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
7、配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200——300Lx。
8、噪声控制。
(1)动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应**过70分贝A。
(2)静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
万级无尘车间标准包括以下内容:
1、压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特别要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
2、配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;协助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
3、噪声控制
动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应**过70分贝A;
静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
另外,万级无尘车间吊顶内的设备需要高度一定要留足。除建筑构造需要空间外还应考虑:送风、回风、排烟、电缆桥架、工艺直排、工艺纯水、压缩空气、事故照明各类设备设施外还应考虑检修人员的活动和操作空间需要。
万级净化车间标准是什么呢?
1、如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,10000级无尘室至大尘粒数目要小于或等于10000颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm,1级在0.1μm。
2、洁净度:
洁净度10000级即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3?(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
万级净化车间的设计方案一般遵循以下步骤:
1、了解客户的生产产品品种、生产工艺和生产流程,需要建设的净化工程项目的面积、结构、方位及现有布局。根据此阶段的资料规划各个功能间的走向和次序。
2、根据客户的生产规模,生产设备的情况,原辅料及中间产品技术规格,成品包装形式与规格,初步确定净化车间面积和结构形式。再结合客户未来三五年的规划情况确定净化无尘车间各功能间大致的面积。
3、根据客户所在行业的洁净度要求,明确温湿度与洁净度要求,通过一系列的空气净化工程规划方案来达到此项要求。
4、结合客户的个性化需求,如结合客户的生产习惯,净化车间项目完工后是否经常接待客户前来参观,以形象展示为重还是以实用为重等,再为此净化工程方案设计相对应的加分项目。
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